超純水脫氧機(jī)(或稱無(wú)氧水設(shè)備)的工藝流程主要用于去除水中的溶解氧,通常應(yīng)用于電子、制藥、化學(xué)等行業(yè)中,以確保水質(zhì)達(dá)到更高的要求,避免氧化對(duì)設(shè)備、產(chǎn)品的影響。以下是常見(jiàn)的超純水脫氧機(jī)的工藝流程:
1.預(yù)處理
目的:去除水中的大顆粒雜質(zhì)和其他有害物質(zhì),以保護(hù)后續(xù)設(shè)備的正常運(yùn)行。
步驟:
原水過(guò)濾:通過(guò)粗濾器或多介質(zhì)過(guò)濾器去除水中的懸浮物、顆粒物和較大的雜質(zhì)。
活性炭吸附:使用活性炭過(guò)濾器去除水中的有機(jī)物、氯、異味等物質(zhì)。
軟化水處理:如果原水中硬度較高,會(huì)使用軟化設(shè)備(如陽(yáng)離子交換樹(shù)脂)去除鈣、鎂等硬度離子,避免水垢在設(shè)備中沉積。
2.超純水處理
目的:進(jìn)一步提高水質(zhì),使水中的溶解物質(zhì)達(dá)到超純水的標(biāo)準(zhǔn)。
步驟:
反滲透(RO)膜:通過(guò)反滲透膜對(duì)水進(jìn)行脫鹽處理,去除水中的大部分溶解物質(zhì)、鹽分、細(xì)菌、重金屬等。
電去離子(EDI)裝置:通過(guò)電去離子裝置進(jìn)一步去除水中的離子,確保水達(dá)到極低的導(dǎo)電性,一般達(dá)到1-10µS/cm。
3.脫氧處理
目的:去除水中的溶解氧,防止氧化反應(yīng)。
步驟:
脫氧塔:脫氧塔是脫氧過(guò)程的核心部分,通常通過(guò)將水與惰性氣體(如氮?dú)猓┙佑|,降低水中的溶解氧濃度。通過(guò)氮?dú)馀c水中的氧氣反應(yīng),水中的氧氣會(huì)被氣體帶走或轉(zhuǎn)化為氧化物。
脫氧劑:在某些系統(tǒng)中,可能還會(huì)加入脫氧劑(如亞硫酸氫鈉、亞硫酸鈉等)以幫助去除水中的氧氣。這些脫氧劑通過(guò)化學(xué)反應(yīng)與溶解氧結(jié)合,形成無(wú)害物質(zhì),進(jìn)一步降低水中的氧含量。
4.后處理
目的:進(jìn)一步確保水質(zhì)符合最終使用要求,避免水中的殘留物對(duì)設(shè)備或產(chǎn)品造成影響。
步驟:
超濾(UF):超濾膜用于去除水中的微小顆粒、細(xì)菌等,確保水質(zhì)更加純凈。
紫外線消毒:在水處理過(guò)程中,紫外線消毒可以去除微生物,確保水的無(wú)菌狀態(tài),防止微生物滋生。
5.水質(zhì)監(jiān)測(cè)與控制
目的:確保整個(gè)水處理過(guò)程的穩(wěn)定性和水質(zhì)的合格性。
步驟:
在線監(jiān)測(cè):通過(guò)在線監(jiān)測(cè)設(shè)備實(shí)時(shí)檢測(cè)水的pH值、電導(dǎo)率、溶解氧、濁度等指標(biāo),確保水質(zhì)穩(wěn)定。
自動(dòng)控制系統(tǒng):系統(tǒng)通過(guò)自動(dòng)化控制水處理設(shè)備的工作狀態(tài),保證各個(gè)環(huán)節(jié)的流量、壓力、溫度等參數(shù)在合理范圍內(nèi),確保水質(zhì)達(dá)到預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)。
6.產(chǎn)品水輸出
目的:提供符合要求的無(wú)氧水或超純水。
步驟:經(jīng)過(guò)上述處理后的水,通常通過(guò)儲(chǔ)水罐存儲(chǔ),并通過(guò)管道輸送到需要使用超純水的設(shè)備或生產(chǎn)線。
工藝流程圖簡(jiǎn)述
原水→2.預(yù)處理(過(guò)濾、軟化)→3.反滲透(RO)處理→4.EDI處理→5.脫氧(脫氧塔、脫氧劑)→6.后處理(超濾、紫外線消毒)→7.儲(chǔ)水罐/終端輸出→8.監(jiān)測(cè)與控制
設(shè)備關(guān)鍵組成部分
反滲透(RO)膜單元
EDI模塊
脫氧塔與氮?dú)庋b置
自動(dòng)化監(jiān)測(cè)與控制系統(tǒng)
儲(chǔ)水罐與出水管道
總結(jié)
超純水脫氧機(jī)的工藝流程是通過(guò)多級(jí)處理,從預(yù)處理到超純水制備,再到脫氧與后期處理,確保水中的溶解氧被有效去除,同時(shí)保持水質(zhì)的超純性和符合特定應(yīng)用的需求。這一過(guò)程常用于對(duì)水質(zhì)要求極為嚴(yán)格的領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、制藥、化工等行業(yè)。